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AI for Scienceで実現する、次世代のAI駆動型ラボ 〜ロボットと機械学習による自律実験から、人が理解・転用できる半導体成膜ルールを創出〜
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Source :
NTT
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NTT株式会社は、AIと自動化技術を活用し、薄膜成長(成膜)を自律的に最適化するとともに、その過程で得られたデータを人が理解・転用できる成膜ルールに変換する「解釈可能な自律成膜」を実証しました。本技術では、成膜から評価、次の成膜条件決定までを繰り返す自律最適化ループを構築しました。
2026年8月25日
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